设备外观尺寸

880mm（L）×960mm（W）×1880mm（H）

清洗盘规格

定制（清洗盘直径＜ø550mm)

清洗方式

二流体清洗

干燥方式

高速离心甩干

电源供应

AC380V 50HZ

总功率

7KW

耗电量

清洗时: 3.5kw/h

待机时: 1kw/h

传动马力

3HP

环境过滤方式

0.3μm；99.999%

空气过滤方式

1μm×1；0.01μm×1

离心转速

100-1500RPM

纯水消耗量

0-7L/Min

气体消耗量

10-30m³/H

清洗压力

液体压力：3-8Kgf/cm²     空气压力：0.2-0.5Mpa

DI水供应

流量：＞7LPM  电阻率：＞17MΩ

气源供应

压力：0.45-0.7Mpa；流量：＞30m³/H（洁净度符合清洗要求）

纯水入口径

ø12mm软管或PT1/2″内螺纹

气源入口径

ø12mm气管

排水出口径

PT 1″内螺纹

排气口口径

4″×2（需加强抽风,风速大于3m/sec）

机器净重

450KG